APPLICATION 사업분야
반도체 / 디스플레이SEMI-CONDUCTOR / DISPLAY
사업분야 설명
  • 디스플레이 산업, LED 패널 / LCD패널, CVD장비, 메탈 오가닉, 관련 산업에 필요한 SIC (실리콘 카바이드)
  • 반도체 웨이퍼확산로 (SiC는 내마모성, 열전도성, 강도, 인성, 내식성, 내화학성, 내열성 등의 장점을 지닌 복합소재로, 특히 반도체 분야에서 활용도가 높은 소재)
  • 파티클(이물)이 없는 단열재로 반도체, 디스플레이 열관련장비와 각종 챔버,오븐내 단열시스템
  • 반도체 molding system, Etcher, CVD
  • 반도체 고온 확산로 (Growing furnace) 내 단열시스템
  • 장비 내 서포팅 파트의 파인세라믹을 단열재로 대체
  • 각종 디스플레이 열처리 장비의 열차단막 (Heating Shield) 과 이너 라이너 (Inner-Lining) 등 로적용
  • 디스플레이용 글라스 (Glass) 열처리 장비내 단열 솔루션 제공
관련 제품
  • 무분진단열재
  • ITM HP 단열재
  • D-블럭
  • 세라믹 보드
  • 실리콘 방열재